PVD कोटिंग के लिए Gr1 Gr2 Gr5 TiAl मिश्र धातु टाइटेनियम स्पटरिंग लक्ष्य

Gr1 Gr2 Gr5 TiAl टाइटेनियम मिश्र धातु टाइटेनियम स्पटरिंग लक्ष्य पीवीडी कोटिंग के लिए

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1. लक्ष्य सामग्री

लक्ष्य सामग्री उच्च गति वाले आवेशित कणों द्वारा बमबारी की गई लक्ष्य सामग्री है। धातु, मिश्र धातु, ऑक्साइड आदि हैं। विभिन्न लक्ष्य सामग्री (जैसे एल्यूमीनियम, तांबा,स्टेनलेस स्टील, टाइटेनियम, निकल लक्ष्य, आदि), आप विभिन्न फिल्म सिस्टम (जैसे सुपर-हार्ड, पहनने के लिए प्रतिरोधी, विरोधी जंग मिश्र धातु फिल्म, आदि) प्राप्त कर सकते हैं।

(1) धातु लक्ष्यः निकेल लक्ष्य, Ni, टाइटेनियम लक्ष्य, Ti, जिंक लक्ष्य, Zn, क्रोमियम लक्ष्य, Cr, मैग्नीशियम लक्ष्य, Mg, नाइओबियम लक्ष्य, Nb, टिन लक्ष्य, Sn, एल्यूमीनियम लक्ष्य, Al, इंडियम लक्ष्य, In,लोहे का लक्ष्यFe, zirconium एल्यूमीनियम लक्ष्य, ZrAl, टाइटेनियम एल्यूमीनियम लक्ष्य, TiAl, zirconium लक्ष्य, Zr, एल्यूमीनियम सिलिकॉन लक्ष्य, AlSi, सिलिकॉन लक्ष्य, Si, तांबा लक्ष्य Cu, टैंटलम लक्ष्य T, a,जर्मनियम लक्ष्य, Ge, चांदी लक्ष्य, Ag, कोबाल्ट लक्ष्य, Co, सोने का लक्ष्य, Au, gadolinium लक्ष्य, Gd, लैंथेनम लक्ष्य, La, yttrium लक्ष्य, Y, सीरियम लक्ष्य, Ce, वोल्फ्रेम लक्ष्य, w, स्टेनलेस स्टील लक्ष्य,निकेल-क्रोमियम लक्ष्य, NiCr, हाफनियम लक्ष्य, Hf, मोलिब्डेनम लक्ष्य, Mo, लोहे-निकल लक्ष्य, FeNi, वोल्फ्रेम लक्ष्य, W, आदि

(2) सिरेमिक लक्ष्यः आईटीओ लक्ष्य, मैग्नीशियम ऑक्साइड लक्ष्य, आयरन ऑक्साइड लक्ष्य, सिलिकॉन नाइट्राइड लक्ष्य, सिलिकॉन कार्बाइड लक्ष्य, टाइटेनियम नाइट्राइड लक्ष्य, क्रोमियम ऑक्साइड लक्ष्य, जिंक ऑक्साइड लक्ष्य,जिंक सल्फाइड लक्ष्य, सिलिकॉन डाइऑक्साइड लक्ष्य, एक सिलिकॉन ऑक्साइड लक्ष्य, सीरियम ऑक्साइड लक्ष्य, ज़िरकोनियम डाइऑक्साइड लक्ष्य, नाइओबियम पेंटोक्साइड लक्ष्य, टाइटेनियम डाइऑक्साइड लक्ष्य, ज़िरकोनियम डाइऑक्साइड लक्ष्य, हाफनियम डाइऑक्साइड लक्ष्य,टाइटेनियम डिबोराइड लक्ष्य, ज़िरकोनियम डिबोराइड लक्ष्य, वोल्फ्रेम ट्राइऑक्साइड लक्ष्य, एल्यूमीनियम ऑक्साइड लक्ष्य, टैंटलम ऑक्साइड लक्ष्य, नाइओबियम पेंटोक्साइड लक्ष्य, मैग्नीशियम फ्लोराइड लक्ष्य, यट्रियम फ्लोराइड लक्ष्य, जिंक सेलेनाइड लक्ष्य,एल्यूमीनियम नाइट्राइड लक्ष्य, सिलिकॉन नाइट्राइड लक्ष्य, बोरॉन नाइट्राइड लक्ष्य, टाइटेनियम नाइट्राइड लक्ष्य, सिलिकॉन कार्बाइड लक्ष्य, लिथियम निओबेट लक्ष्य, प्रासेडियम टाइटेनट लक्ष्य, बैरियम टाइटेनट लक्ष्य,लैंथेनियम टाइटनेट लक्ष्य, निकल ऑक्साइड लक्ष्य, स्पटरिंग लक्ष्य, आदि

2लक्ष्य की मुख्य प्रदर्शन आवश्यकताएं

(1) शुद्धता

शुद्धता लक्ष्य के मुख्य प्रदर्शन संकेतकों में से एक है, क्योंकि लक्ष्य की शुद्धता फिल्म के प्रदर्शन पर बहुत प्रभाव डालती है।लक्ष्य सामग्री की शुद्धता की आवश्यकताएं भी भिन्न होती हैंउदाहरण के लिए, सूक्ष्म इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग के तेजी से विकास के साथ, सिलिकॉन वेफर्स का आकार 6 "से 8" तक बढ़कर 12 " हो गया है, और वायरिंग चौड़ाई 0.5um से 0.25um, 0.25um तक कम हो गई है।18um या 0 भी.13um, 99.995% की पूर्व लक्ष्य शुद्धता 0.35umIC की तकनीकी आवश्यकताओं को पूरा कर सकती है, और 0.18um लाइनों की तैयारी के लिए लक्ष्य की शुद्धता के लिए 99.999% या यहां तक कि 99.9999% की आवश्यकता होती है।

(2) अशुद्धियों की मात्रा

लक्ष्य ठोस और छिद्रों में ऑक्सीजन और जल वाष्प में अशुद्धियां जमा की गई फिल्म के लिए प्रदूषण के मुख्य स्रोत हैं।विभिन्न लक्ष्यों के लिए विभिन्न अशुद्धियों की सामग्री के लिए अलग-अलग आवश्यकताएं हैंउदाहरण के लिए, अर्धचालक उद्योग में उपयोग किए जाने वाले शुद्ध एल्यूमीनियम और एल्यूमीनियम मिश्र धातु लक्ष्यों में क्षारीय धातु सामग्री और रेडियोधर्मी तत्व सामग्री के लिए विशेष आवश्यकताएं होती हैं।

(3) घनत्व

लक्ष्य के ठोस पदार्थों में छिद्रों को कम करने और स्पटर फिल्म के प्रदर्शन में सुधार करने के लिए, लक्ष्य को आमतौर पर अधिक घनत्व की आवश्यकता होती है।लक्ष्य का घनत्व न केवल स्पटरिंग दर को प्रभावित करता है, लेकिन फिल्म के विद्युत और ऑप्टिकल गुणों को भी प्रभावित करता है। लक्ष्य घनत्व जितना अधिक होगा, फिल्म का प्रदर्शन उतना ही बेहतर होगा। इसके अलावा,लक्ष्य के घनत्व और शक्ति को बढ़ाना लक्ष्य को स्पटरिंग के दौरान थर्मल तनाव का बेहतर सामना करने देता हैघनत्व भी लक्ष्य के प्रमुख प्रदर्शन संकेतकों में से एक है।

(4) अनाज का आकार और अनाज का आकार वितरण

लक्ष्य सामग्री आमतौर पर पॉलीक्रिस्टलाइन होती है, और अनाज का आकार माइक्रोन से मिलीमीटर तक हो सकता है।बारीक अनाज के साथ लक्ष्य की स्पटरिंग दर मोटे अनाज के साथ लक्ष्य की तुलना में तेज है; धान के आकार में मामूली अंतर (एक समान वितरण) के साथ लक्ष्य को स्पटर करके जमा की गई फिल्म की मोटाई अधिक समान है।

3सामग्री

(1)शुद्ध टाइटेनियमः GR1 GR2

(2) टाइटेनियम मिश्र धातुः Gr5 टाइटेनियम, टाइटेनियम एल्यूमीनियम TiAl, टाइटेनियम निकेल TiNi, टाइटेनियम क्रोमियम TiCr, टाइटेनियम जिरकोनियम TiZr, तांबा टाइटेनियम TiCu आदि।

(3)अन्य सामग्रीः ज़िरकोनियम स्पटरिंग टारगेट, क्रोम स्पटरिंग टारगेट,टंगस्टन स्पटरिंग टारगेट,कॉपर स्पटरिंग टारगेट आदि

4उद्देश्य

इसका व्यापक रूप से सजावटी कोटिंग्स, पहनने के प्रतिरोधी कोटिंग्स, इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में सीडी और वीसीडी, साथ ही विभिन्न चुंबकीय डिस्क कोटिंग्स में उपयोग किया जाता है।

वोल्फ़ास्टेन-टाइटनियम (डब्ल्यू-टीआई) आधारित फिल्म और वोल्फ़ास्टेन-टाइटनियम (डब्ल्यू-टीआई) आधारित मिश्र धातु की फिल्म कई अपरिवर्तनीय उत्कृष्ट गुणों वाली उच्च तापमान वाली मिश्र धातु की फिल्म हैं।वोल्गस्टन में उच्च पिघलने बिंदु जैसे गुण होते हैं, उच्च शक्ति और थर्मल विस्तार का कम गुणांक। W / Ti मिश्र धातु में कम प्रतिरोध गुणांक, अच्छी थर्मल स्थिरता और ऑक्सीकरण प्रतिरोध है।जैसे कि विभिन्न उपकरणों के लिए धातु के तारों की आवश्यकता होती है जो एक प्रवाहकीय भूमिका निभाते हैं, जैसे कि Al, Cu, और Ag का व्यापक रूप से उपयोग और शोध किया गया है। हालांकि, तार धातु स्वयं आसानी से ऑक्सीकृत होती है, आसपास के वातावरण के साथ प्रतिक्रिया करती है,और डाईलेक्ट्रिक परत के लिए खराब आसंजन हैयह Si और SiO2 जैसे उपकरणों की सब्सट्रेट सामग्री में फैलना आसान है, और यह कम तापमान पर धातु और Si का गठन करेगा।उपकरण के प्रदर्शन को बहुत कम कर देता हैW-Ti मिश्र धातु का उपयोग स्थिर थर्मोमैकेनिकल गुणों, कम इलेक्ट्रॉन गतिशीलता, उच्च संक्षारण प्रतिरोध और रासायनिक स्थिरता के कारण वायरिंग प्रसार बाधा के रूप में करना आसान है।विशेष रूप से उच्च धारा और उच्च तापमान वातावरण में उपयोग के लिए उपयुक्त .

विस्तृत चित्र

कारखाना

पैकेज और डिलीवरीः

टीआई लक्ष्य सामग्री को मोती कपास के साथ लपेटें और इसे लकड़ी के बक्से में रखें। हमारी उचित पैकेजिंग विधि परिवहन के दौरान लक्ष्य सामग्री के एक दूसरे से टकराने से बचा सकती है,और उत्पाद पर बाहरी वस्तुओं के प्रभाव को भी रोक सकता है, और सुनिश्चित करें कि उत्पाद वितरण के बाद वितरित किया जाता है अखंडता.

---1.सीलबंद पैकेजिंग, फिर कार्टन कैस या मानक मानक प्लाईवुड केस में डालें।

---2.ग्राहक के लोगो के साथ विशेष कस्टम कार्डबोर्ड का उपयोग करना, प्रत्येक व्यक्तिगत पैकेजिंग, खरीदारों को प्रत्यक्ष बिक्री में मदद करने के लिए।

---ग्राहक की आवश्यकता को स्वीकार करें

सुनिश्चित करें कि प्रत्येक पैकेज आपके लिए अनुकूलित है।सुनिश्चित करें कि जब आप माल प्राप्त करें तो कोई क्षति न हो।